Tsuneo Urisu: "Svnchrotron radiation assisted Si epitaxial growth:Comparison of growth characteristics between Si_<>H_6 and SiH_2Cl_2 gases." Appl.Phys.Lett.62. 2821-2822 (1993)
Tsuneo Urisu: "Svnchrotron radiation assisted Si epitaxial growth:Comparison of growth characteristics between Si_<>H_6 and SiH_2Cl_2 gases." Appl.Phys.Lett.62. 2821-2822 (1993)
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Tsuneo Urisu：“加速器辐射辅助硅外延生长：Si_<>H_6 和 SiH_2Cl_2 气体的生长特性比较。”
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