Inline metrology configuration for sub-wavelength diffraction using microscope optics
Inline metrology configuration for sub-wavelength diffraction using microscope optics
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使用显微镜光学器件进行亚波长衍射的在线计量配置
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Torres
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kehoe;V. Reboud;C. Torres
