Hiroshi Fujiyama: "Dynamics of Silicon Particles in DC Silane Plasmas Transported by a Modulated Magnetic Field" Jpn.J,Appl.Phys.33. 4216-4220 (1994)
Hiroshi Fujiyama: "Dynamics of Silicon Particles in DC Silane Plasmas Transported by a Modulated Magnetic Field" Jpn.J,Appl.Phys.33. 4216-4220 (1994)
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Hiroshi Fujiyama：“调制磁场传输的直流硅烷等离子体中硅粒子的动力学”Jpn.J，Appl.Phys.33。
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