Development of HiPIMS deposition technology using a cylindrical target surrounding a substrate for one-piece-flow coating
Development of HiPIMS deposition technology using a cylindrical target surrounding a substrate for one-piece-flow coating
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开发 HiPIMS 沉积技术，使用围绕基底的圆柱形靶材进行单件流涂
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tatsuya Furuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki Kousaka; Kouta Suematsu;Tatsuya Furuki
