T.Kobayashi, J.Tsaur, M.Ichiki, R.Maeda: "Sol-gel deposition of PZT thick film on Pt/Ti/SOI substrate and application to 2D micro scanning mirror"Proceeding of SPIE. 2004年1月アクセプト.
T.Kobayashi, J.Tsaur, M.Ichiki, R.Maeda: "Sol-gel deposition of PZT thick film on Pt/Ti/SOI substrate and application to 2D micro scanning mirror"Proceeding of SPIE. 2004年1月アクセプト.
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T.Kobayashi、J.Tsaur、M.Ichiki、R.Maeda：“Pt/Ti/SOI 基底上 PZT 厚膜的溶胶-凝胶沉积及其在 2D 微扫描镜中的应用”，SPIE 论文集，2004 年 1 月接受。
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