低温イットリア原子層堆積の表面反応評価
低温イットリア原子層堆積の表面反応評価
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低温氧化钇原子层沉积的表面反应评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤健太郎;吉田一樹;鹿又健作;三浦正範;有馬ボシールアハンマド;久保田繁;廣瀬文彦
