Electrostatically Addressable Gatefold Micro-shutter Arrays for Astronomical Infrared Spectrograph

Electrostatically Addressable Gatefold Micro-shutter Arrays for Astronomical Infrared Spectrograph
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用于天文红外光谱仪的静电可寻址折叠式微快门阵列

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc.Asia Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006),June 25-28,2006,Marina-Mandarin Hotel,Singapore.
影响因子：
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通讯作者：
H.Toshiyoshi
H.Toshiyoshi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Takahashi;M.Mita;K.Motohara;N.Kobayashi;N.Kashikawa;H.Fujita;H.Toshiyoshi

文献摘要

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