3次元ナノ構造形成のための斜めプラズマエッチング技術の開発
3次元ナノ構造形成のための斜めプラズマエッチング技術の開発
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开发用于3D纳米结构形成的倾斜等离子体蚀刻技术
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋重樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋重樹;岡野誠;今田昌広;野田進;高橋重樹;高橋重樹;高橋重樹;高橋重樹
