E.Morisaki, T.Nagano. H.Fujiyama: "Characteristics of Scanning Magnetic Field-type Coaxial ECR Plasma for Inner Coating of Slender Tubes"Electrical Engineering in Japan. 130. 18-23 (2000)
E.Morisaki, T.Nagano. H.Fujiyama: "Characteristics of Scanning Magnetic Field-type Coaxial ECR Plasma for Inner Coating of Slender Tubes"Electrical Engineering in Japan. 130. 18-23 (2000)
复制标题
E.森崎，T.长野。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
