基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案
基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案
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提出一种新的 kt2 评估方法，使用普通的谐振反谐振方法来评估带基板的薄膜谐振器
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
島野耀康;矢田部浩平;柳谷隆彦
