エチレンプラズマを使ったアモルファス炭素膜堆積反応の赤外分光解析
エチレンプラズマを使ったアモルファス炭素膜堆積反応の赤外分光解析
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乙烯等离子体非晶碳膜沉积反应的红外光谱分析
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高木雄也,高見佳生,八木翔平,津村高成,篠原正典,松田良信,藤山寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Koga;T. Amano;T. Sarinont;T. Kawasaki;G. Uchida;H. Seo;N. Itagaki;M. Shiratani;Y. Nakatsu;A. Tanaka;高木雄也,高見佳生,八木翔平,津村高成,篠原正典,松田良信,藤山寛
