RF plasma Production by Using FET Inverter Power Supply
RF plasma Production by Using FET Inverter Power Supply
复制标题
使用 FET 逆变电源生产 RF 等离子体
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Atsushi KOMURO and Chan Ho MOON
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira ANDO;Atsushi KOMURO and Chan Ho MOON
