MOVPE法によるAlN膜のface-to-faceアニール
MOVPE法によるAlN膜のface-to-faceアニール
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MOVPE 法对 AlN 薄膜进行面对面退火
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平松和政
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中襲一;岡田俊祐;林侑介;三宅秀人;平松和政
