Ion beam assisted deposition of metal layers using a novel one beam system
Ion beam assisted deposition of metal layers using a novel one beam system
复制标题
使用新型单束系统进行离子束辅助金属层沉积
DOI：
10.1016/s0042-207x(02)00645-0
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kiszczak
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F. Komarov;A. Kamarou;P. Żukowski;C. Karwat;J. Sielanko;C. Kozak;K. Kiszczak
