ナノパルスプラズマと熱フィラメントを併用したダイヤモンド膜の合成
ナノパルスプラズマと熱フィラメントを併用したダイヤモンド膜の合成
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使用纳脉冲等离子体和热灯丝合成金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
望月佳彦;齊藤雅典;会田敏之;村上碩哉;大竹尚登
