シアフォース制御下の超音波ナノマシーニング

シアフォース制御下の超音波ナノマシーニング
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剪切力控制下的超声纳米加工

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
2006年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
岡村幹夫
岡村幹夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
石川広美;岡村幹夫

文献摘要

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