H. yamamoto, T. Yatsuhashi, A. Kushida N. Murayama and J.Shibata: "Harmless Treatment of Global Warming Gases Exsorsted from Manufacturing Process of Semiconductors"Thermophysical Properties. Vol.22. 64-66 (2001)
H. yamamoto, T. Yatsuhashi, A. Kushida N. Murayama and J.Shibata: "Harmless Treatment of Global Warming Gases Exsorsted from Manufacturing Process of Semiconductors"Thermophysical Properties. Vol.22. 64-66 (2001)
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H. yamamoto、T. Yatsuhashi、A. Kushida N. Murayama 和 J. Shibata：“半导体制造过程中排出的全球变暖气体的无害化处理”热物理性质。
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