Production of shunting arc assisted hybrid plasma for carbon based composite film preparation

Production of shunting arc assisted hybrid plasma for carbon based composite film preparation
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用于制备碳基复合薄膜的分流电弧辅助混合等离子体的生产

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing
影响因子：
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通讯作者：
K.Takaki
K.Takaki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Nagao;et al.;森直樹;荒木田大嗣;森直樹;森直樹;Y.Suda;M.Itoh;K.Takaki

文献摘要

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