MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア微傾斜角度の影響
MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア微傾斜角度の影響
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c面蓝宝石微倾斜角对MOVPE法生长AlN的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福山博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木周平;林家弘;三宅秀人;平松和政;福山博之
