薄膜バルク音響共振器の高感度質量センサへの応用
薄膜バルク音響共振器の高感度質量センサへの応用
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薄膜体声谐振器在高灵敏质量传感器中的应用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Terumitsu Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Terumitsu Tanaka;Terumitsu Tanaka
