Takao Hanabusa, et al.: "Evaluation of internal stresses in single-, double-and multi-layered TIN and TiAlN thin films by synchrotron radiation"ATEM'03, JSME-MMD. (Submitted to JSME InternationalJournal). (2003)
Takao Hanabusa, et al.: "Evaluation of internal stresses in single-, double-and multi-layered TIN and TiAlN thin films by synchrotron radiation"ATEM'03, JSME-MMD. (Submitted to JSME InternationalJournal). (2003)
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Takao Hanabusa 等人：“通过同步辐射评估单层、双层和多层 TIN 和 TiAlN 薄膜的内应力”ATEM03，JSME-MMD。
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