GaCl3気体原料を用いたβ-Ga2O3ホモエピタキシャル成長
GaCl3気体原料を用いたβ-Ga2O3ホモエピタキシャル成長
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使用 GaCl3 气态原料进行 β-Ga2O3 同质外延生长
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村上 尚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長野 理紗;江間 研太郎;佐々木 公平;倉又 朗人;村上 尚
