FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質
FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質
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FIB-CVD 微结构的制造和机械性能
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松室昭仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中山浩征;高木誠;松室昭仁
