Detection and repair of micro defects in the process of diamond cutting of a microstructure array
Detection and repair of micro defects in the process of diamond cutting of a microstructure array
复制标题
微结构阵列金刚石切割过程中微缺陷的检测与修复
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuan-Liu Chen;Yuki Shimizu;So Ito;Wei Gao;陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
