Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition
Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition
复制标题
基板偏压对非晶碳膜沉积的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Masanori Shinohara;他
