大気圧熱プラズマジェットを用いたシリコン膜のマイクロ秒溶融結晶化と高性能TFT作製応用
大気圧熱プラズマジェットを用いたシリコン膜のマイクロ秒溶融結晶化と高性能TFT作製応用
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大气压热等离子体射流硅薄膜微秒熔融结晶及其在高性能TFT制造中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東清一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Furukawa;S. Higashi;T. Okada;H. Kaku;H. Murakami;S. Miyazaki;H. Furukawa;H. Furukawa;東清一郎
