PZTの微細加工とセンサへの応用
PZTの微細加工とセンサへの応用
复制标题
PZT微加工及传感器应用
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田健介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Koyama;R. Isago and K. Nakamura;K. Kanda;神田健介
