Kunihide Tachibana, Kazuo Takahashi, Takeshi Kawasaki and Shin-ich Imai: "Reactions of Perfluoro-Compound Alternatives in SiOィイD22ィエD2 Plasma Etching Studied by Laser Spectroscopic and Mass Spectrometric Techniques"Proc. 14ィイD1thィエD1 Int. Symposium on Pla
Kunihide Tachibana, Kazuo Takahashi, Takeshi Kawasaki and Shin-ich Imai: "Reactions of Perfluoro-Compound Alternatives in SiOィイD22ィエD2 Plasma Etching Studied by Laser Spectroscopic and Mass Spectrometric Techniques"Proc. 14ィイD1thィエD1 Int. Symposium on Pla
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Kunihide Tachibana、Kazuo Takahashi、Takeshi Kawasaki 和 Shin-ich Imai：“通过激光光谱和质谱技术研究 SiOiD22D2 等离子体蚀刻中全氟化合物替代品的反应”研讨会论文集。
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