SOI基板を用いた導波路結合型SSPD素子の作製
SOI基板を用いた導波路結合型SSPD素子の作製
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使用 SOI 衬底制造波导耦合 SSPD 器件
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井元信之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和木健太朗;山下太郎;井上振一郎;三木茂人;寺井弘高;生田力三;山本俊;井元信之
