Liquid metal ion sources for FIB microfabrication systems — recent advances
Liquid metal ion sources for FIB microfabrication systems — recent advances
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用于 FIB 微加工系统的液态金属离子源 — 最新进展
DOI：
10.1016/0168-583x(85)90624-x
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发表时间：
1985
影响因子：
1.3
通讯作者：
E. Kellogg
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Prewett;E. Kellogg
