Sb添加β-FeSi2エピタキシャル膜の作製とドナー活性化条件の最適化

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Sb掺杂β-FeSi2外延薄膜的制备及施主激活条件优化

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
江口 元,飯沼 元輝,星田 裕文,村社 尚紀,寺井 慶和
江口 元,飯沼 元輝,星田 裕文,村社 尚紀,寺井 慶和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Takuya Murooka ;Junya Yaita;Toshiharu Makino;Masahiko Ogura;Hiromitsu Kato;Satoshi Yamasaki;Meralys Natal;Stephen E. Saddow;Takayuki Iwasaki;Mutsuko Hatano;星田裕文,末益 崇,寺井慶和;中村祐哉,齊藤剛史,伊藤和幸;江口 元,飯沼 元輝,星田 裕文,村社 尚紀,寺井 慶和

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