Simulation of growth dynamics in atomic layer deposition. Part II. Polycrystalline films from cubic crystallites
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DOI：
10.1016/j.tsf.2006.11.024
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发表时间：
2007-04
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
O. Nilsen;O. Karlsen;A. Kjekshus;H. Fjellvåg
中科院分区：
文献类型：
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作者：
O. Nilsen;O. Karlsen;A. Kjekshus;H. Fjellvåg
