Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and LowVoltage Drivingof Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and LowVoltage Drivingof Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
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利用拉伸多晶硅薄膜扭杆同时实现微镜的稳定温度特性和低压驱动
DOI：
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发表时间：
2009
影响因子：
4.9
通讯作者：
H. Miura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Sasaki;M. Fujishima;K. Hane;H. Miura
