Evaluation of Silicon Fracture Strength Dependence on Stealth Dicing ayers for "Cleave-before-Use" MEMS Freestanding Cantilever Probes
Evaluation of Silicon Fracture Strength Dependence on Stealth Dicing ayers for "Cleave-before-Use" MEMS Freestanding Cantilever Probes
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评估“使用前切割”MEMS 独立式悬臂探针的硅断裂强度对隐形切割层的依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yoshio Mita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Kubota;Kota Hosaka;Masakazu Sugiyama;and Yoshio Mita
