X-ray photoelectron spectroscopy study of dipole effects at HfO2/SiO2/Si stacks

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HfO2/SiO2/Si 叠层偶极子效应的 X 射线光电子能谱研究

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
A.Toriumi
A.Toriumi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
L.Q.Zhu;K.Kita;T.Nishimura;K.Nagashio;S.K.Wang;A.Toriumi

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