K.Yamakawa et al.: "High-Speed Etching Process Using Non-equilibrium microwave Excited Atmospheric plasma"Proc. International Symposium on microwave science and its Application to Related Field. 142 (2002)
K.Yamakawa et al.: "High-Speed Etching Process Using Non-equilibrium microwave Excited Atmospheric plasma"Proc. International Symposium on microwave science and its Application to Related Field. 142 (2002)
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K.Yamakawa 等人：“使用非平衡微波激发大气等离子体的高速蚀刻工艺”Proc。
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