TSSG 法による SiC 結晶成長炉内移動現象に関する数値シミュレーション
TSSG 法による SiC 結晶成長炉内移動現象に関する数値シミュレーション
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基于TSSG方法的SiC晶体生长反应器运动现象的数值模拟
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇治原徹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本卓也;岡野泰則;宇治原徹
