塩素ガス熱エッチングにおける結晶面異方性を活用したSiCトレンチ底部の形状制御
塩素ガス熱エッチングにおける結晶面異方性を活用したSiCトレンチ底部の形状制御
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氯气热刻蚀中利用晶面各向异性控制 SiC 沟槽底部的形状
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他3名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
纐纈英典;畑山智亮;他3名
