細孔底面への水素フリーDLC膜の成膜速度の向上
細孔底面への水素フリーDLC膜の成膜速度の向上
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提高孔底无氢DLC薄膜的沉积速率
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田悠介，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレ アブスアイリキ
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田上英人，角口公章，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレ アブスアイリキ;細尾倫成，田上英人，須田善行，滝川浩史，川島貴弘，柴田隆行，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，サーレ アブスアイリキ，辻信弘;森田悠介，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレ アブスアイリキ
