Study on Sputtering Mechanism of Shave-off Profiling
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复制标题
刮削仿形溅射机理研究
DOI：
10.1380/ejssnt.2011.386
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发表时间：
2011
影响因子：
0.7
通讯作者：
M.Fujii
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takeo Ito;Kazuhiro Ozawa;Tsuyoshi Watanabe;Takeshi Sagiya;小澤和浩・鷺谷威;M. Fujii and M. Owari;M. Fujii M. Owari;M.Fujii
