Kwang Soo Seol et al: "Study on particle formation during RF plasma CVD process using a very low-pressure differential mobility analyzer"Proceedings of Symposium on Dry Process. 67-72 (2000)
Kwang Soo Seol et al: "Study on particle formation during RF plasma CVD process using a very low-pressure differential mobility analyzer"Proceedings of Symposium on Dry Process. 67-72 (2000)
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Kwang Soo Seol 等人：“使用极低压差动迁移率分析仪研究 RF 等离子体 CVD 过程中的颗粒形成”干法研讨会论文集。
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