Mechanical characterization system using on-chip probe with wide range actuation
Mechanical characterization system using on-chip probe with wide range actuation
复制标题
使用具有宽范围驱动的片上探针的机械表征系统
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and F. Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ito;S. Sakuma;M. Kimura;T. Takebe;M. Kaneko;and F. Arai
