Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)
Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)
复制标题
用于抛光的冷冻针卡盘的开发（第二次报告）
DOI：
10.2493/jjspe.82.82
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发表时间：
2016
影响因子：
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通讯作者：
吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI;吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
