Surface reaction of Nb2O5 RT-ALD explained by using quartz crystal microbalance measurements
Surface reaction of Nb2O5 RT-ALD explained by using quartz crystal microbalance measurements
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使用石英晶体微天平测量解释 Nb2O5 RT-ALD 的表面反应
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yoshida;K. Saito;M. Miura;K. Kanomata;B. Ahmmad;S. Kubota;F. Hirose
