リンドープSiO_2/4H-SiC界面欠陥の解析

リンドープSiO_2/4H-SiC界面欠陥の解析
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磷掺杂SiO_2/4H-SiC界面缺陷分析

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岡本大
岡本大
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
渡邊克巳;池田華子;坪見博之;池田華子・福井隆雄・互恵子・高田定樹・渡邊克己;岡本大

文献摘要

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