K.Kusaka: "Effect of External Magnetic Field on Residual Stress in AlN Films Prepared by Sputtering System" Proc.of The Second International Conference on Nitride Semiconductors. Tokushima,Japan. 378 (1997)
K.Kusaka: "Effect of External Magnetic Field on Residual Stress in AlN Films Prepared by Sputtering System" Proc.of The Second International Conference on Nitride Semiconductors. Tokushima,Japan. 378 (1997)
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K.Kusaka：“外部磁场对溅射系统制备的 AlN 薄膜中残余应力的影响”第二届国际氮化物半导体会议论文集。
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