Development of high performance suspension deposited diamond-like carbon on the inner wall by surface wave-excited plasma
Development of high performance suspension deposited diamond-like carbon on the inner wall by surface wave-excited plasma
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表面波激发等离子体内壁高性能悬浮沉积类金刚石碳的研制
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Noritsugu Umehara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akinobur Hanihara;Hiroyuki Kousaka;Takayuki Tokoroyama;Noritsugu Umehara
