Mechanisms of atomic ion emission during sputtering
Mechanisms of atomic ion emission during sputtering
复制标题
溅射过程中原子离子发射的机制
DOI：
10.1016/0168-583x(86)90135-7
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发表时间：
1986
影响因子：
1.3
通讯作者：
N. D. Lang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Yu;N. D. Lang
