織田晃嘉, 大田正人, 柴田順二: "CMPメカニズムの基礎研究"日本機械学会第4回生産加工・工作機械部門講演会論文集. 213-214 (2002)
織田晃嘉, 大田正人, 柴田順二: "CMPメカニズムの基礎研究"日本機械学会第4回生産加工・工作機械部門講演会論文集. 213-214 (2002)
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Akiyoshi Oda、Masato Ota、Junji Shibata：《CMP 机构的基础研究》第 4 届日本机械工程师学会生产加工和机床分会会议论文集 213-214（2002 年）。
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