偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察
偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察
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使用椭圆光度法考虑银溅射薄膜的初始生长过程
DOI:
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发表时间:
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期刊:
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通讯作者:
川畑
中科院分区:
文献类型:
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作者:
清水;星;川畑