偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察

偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察
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使用椭圆光度法考虑银溅射薄膜的初始生长过程

DOI:
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发表时间:
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期刊:
電気学会論文誌A Vol.122-A、No.8
影响因子:
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通讯作者:
川畑
川畑
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
清水;星;川畑

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